AMC空氣分子污染物ppb級VOC監測系統

AMC空氣分子污染物ppb級VOC監測系統

一、AMC空氣分子污染物ppb級VOC監測系統介紹：

醋酸、草酸 、胺類(lèi)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷（HMDS）、鄰苯二甲酸二辛酯（DOP）、鄰苯二甲酸二丁酯（DBP）、鄰苯二甲酸二乙酯（DEP）、異丙醇、丙酮、硼酸*酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有機物

空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產(chǎn)過(guò)程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機污染物是生產(chǎn)過(guò)程中的消極因素，會(huì )導致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題而產(chǎn)生的成本增加。

無(wú)空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標，通過(guò)污染物源頭控制、傳播控制，實(shí)時(shí)監控污染物濃度并結合多級過(guò)濾器以及新風(fēng)系統來(lái)實(shí)現，持久監測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩定生產(chǎn)、預防過(guò)濾器突發(fā)性壽命減少等。

uVOC-CAM提供給客戶(hù)一個(gè)實(shí)時(shí)快捷持續的在線(xiàn)空氣分子污染物AMC監測方案，不需要采樣，離線(xiàn)測量。

關(guān)鍵詞：AMC監測，AMC在線(xiàn)監測，AMC在線(xiàn)檢測，空氣分子污染物監測，半導體潔凈室氣體分析儀

二、阿瑞斯-µ VOCppb級VOC監測系統產(chǎn)品優(yōu)勢：

檢測限達到sub-ppb級

潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內部來(lái)自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過(guò)程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設備維護修理時(shí)散發(fā)等，外部來(lái)自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

一旦AMC空氣分子污染物超標會(huì )引起一系列嚴重后果，比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。

空氣分子污染物問(wèn)題:從潔凈間到生產(chǎn)機臺加工

隨著(zhù)IC產(chǎn)品生產(chǎn)成本的增加，空氣分子污染物AMC的監測變得越來(lái)越重要。

污染物從加工到超凈間的擴散，并且成份的增加，分子污染物來(lái)自多個(gè)源頭，比如生產(chǎn)化學(xué)藥劑、建筑材料、潔凈間設備裝置、操作人員等。

µ-VOC  系統意味著(zhù)潛在鑒別空氣分子污染物與產(chǎn)生污染問(wèn)題和減少污染問(wèn)題之間的關(guān)聯(lián)，完整的全量程全組份實(shí)時(shí)sub-ppb級測量，提供早期A(yíng)MC監測和快速確定這些污染問(wèn)題的原因。

三、阿瑞斯-µ VOCppb級VOC監測系統亮點(diǎn)

一般特點(diǎn)

在線(xiàn)連續質(zhì)量監測全部自動(dòng)化系統

低濃度VOC監測

獨立分開(kāi)測量有機物成份

Sub-ppb檢測限

集成計算機和控制軟件以及數據采集與處理功能。

四、應用

潔凈間污染物監測

過(guò)濾器狀態(tài)監測

加工過(guò)程全組份測量診斷污染物

通過(guò)成份形成跟蹤污染物源頭

許多生產(chǎn)過(guò)程化學(xué)藥劑成為污染物的源頭，NH3因光刻工藝過(guò)程而較為著(zhù)名。六甲基二硅胺烷（HMDS）又分解成*基硅醇和NH3，等等很多類(lèi)似的化學(xué)藥劑的分解與釋放，都造成AMC的增加。而實(shí)時(shí)迅速測量這些成份濃度的µ-VOC 系統可以跟蹤污染物形成的時(shí)間和路線(xiàn)。

五、工作原理

GC氣相色譜是分離多種復雜混合物常用的技術(shù)，這種技術(shù)依賴(lài)于揮發(fā)性有機混合氣體在色譜柱的多組份分離。

當不同的揮發(fā)性有機物從色譜柱分離出來(lái)后通過(guò)氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導率的變化，從而確定不同組份的濃度，*的吹掃和載氣系統可使儀器達到sub-ppb檢測限。